真空仿真软件包括以下几种：

ANSYS Maxwell：

这是一款出色的有限元电磁场仿真软件，可以对真空中的电磁场进行详细的建模和分析，包括局部场、场分布、电压和电流等关键参数。

CST StudioSuite：

这是另一个广泛使用的电磁场仿真工具，包括许多高效的求解器，如飞行时间法和傅里叶法等，也可以用于分析和优化真空放电。

COMSOL Multiphysics：

这是一个多物理场仿真软件包，可以用于模拟和分析几乎所有科学和工程领域的问题。COMSOL的真空放电模型包括雪崩放电、击穿放电、介电损耗和电磁波辐射等。

HFSS – High Frequency Structure Simulator：

由Ansoft公司推出的三维电磁仿真软件，已被ANSYS公司收购。HFSS提供了一简洁直观的用户设计界面、精确自适应的场解器、拥有空前电性能分析能力的功能强大后处理器，能计算任意形状三维无源结构的S参数和全波电磁场。它广泛应用于天线设计、电真空器件设计、高速互连结构设计和光电器件仿真设计等领域。

这些软件在真空仿真领域都有各自的优势和应用场景，选择合适的软件可以根据具体需求和项目特点来决定。